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晶圓表面缺陷檢測系統
所檢缺陷種類:孔洞、尺寸、位置;穿孔;顆粒污染;凹坑;水印;劃傷;淺坑;CMP凸起 檢測范圍:8寸、12寸 圖像分辨率:1.725um/像素 缺陷識別率:99% 檢測視野大小:4.5mm x 3.5mm 最小可檢孔洞缺陷大小:20um
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