所檢缺陷種類：孔洞、尺寸、位置；穿孔；顆粒污染；凹坑；水印；劃傷；淺坑；CMP凸起 檢測范圍：8寸、12寸 圖像分辨率：1.725um/像素 缺陷識別率：99% 檢測視野大小：4.5mm x 3.5mm 最小可檢孔洞缺陷大小：20um

檢測速度： 80-200m/min 產(chǎn)品范圍： 隔膜 分辨率： 線掃：0.05（橫向）*0.05（縱向）mm/pix； 檢測精度： 0.05mm2 過殺率/漏殺率： 漏殺率：0%，過殺率：≤0.1% 設(shè)備外形尺寸： 嵌入原設(shè)備中（定制）

針對薄膜行業(yè)能檢測出不同類型的表面缺陷，并實時以圖像形式反饋出來。

應(yīng)用簡介說明：激光模切分切一體機尺寸及缺陷CCD檢測系統(tǒng)，采用CCD對極片表面進行實時拍照，實現(xiàn)檢測極片寬度并進行實時閉環(huán)糾偏，同時兼容極片表面瑕疵檢測，對不良片進行報警和貼標，實現(xiàn)對產(chǎn)品的自動化檢測。

CCD在線檢測系統(tǒng)，檢測連續(xù)涂布極片表面瑕疵檢測、極片寬度檢測、寬度閉環(huán)糾偏、并對不良統(tǒng)一進行報警停機、數(shù)據(jù)統(tǒng)計和不良貼標等。

涂布對齊及缺陷CCD檢測系統(tǒng)，采用CCD對極片表面進行實時拍照，實現(xiàn)檢測極片寬度并進行實時閉環(huán)糾偏，同時兼容極片表面瑕疵檢測并進行噴墨和報警 。